微导纳米（688147）：如何用ALD'原子级精度'从光伏周期里'切'出半导体第二曲线

半导体设备收入半年翻2.2倍、存储ALD市占率超90%：微导纳米如何用ALD'原子级精度'从光伏周期里'切'出半导体第二曲线

一、一句话定位：它不是'光伏设备厂'，是ALD原子层沉积的'国产定义者'

微导纳米（688147）如果只用一句话概括，是以原子层沉积（ALD）技术为核心，搭配化学气相沉积（CVD）等真空薄膜技术，为半导体、光伏、柔性电子等领域提供高端微纳装备的制造商。但这个概括掩盖了它的真实产业位势——它是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于集成电路制造前道生产线的国产设备厂商，是国内首批成功开发并进入产业链核心厂商量产线的硬掩模CVD设备国产厂商，也是行业内率先为新型存储提供薄膜沉积技术支持的设备厂商之一。

公司成立于2015年，2022年12月科创板上市，实控人为王磊、王燕清。公司形成了以ALD技术为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，产品已广泛应用于逻辑芯片、存储芯片、先进封装、化合物半导体、新型显示（硅基OLED等）等诸多细分应用领域，多项设备关键指标达到国际先进水平。

二、半导体业务：从12%到53%，存储ALD市占率超90%的'隐形冠军'

2.1 业务结构剧变：半导体收入半年翻2.2倍，占比首超光伏

2025年，微导纳米全年实现营业收入26.33亿元，同比下降2.47%；归母净利润2.19亿元，同比下降3.23%。拖累整体业绩的是光伏设备业务，受行业周期性下行影响，收入仅15.89亿元，同比下滑30.62%。但半导体设备业务迎来爆发期——收入达8.81亿元，同比增长169.12%，占主营业务收入比重从2024年的12.14%跃升至33.50%。

2026年上半年，结构性切换进一步加速：公司实现营业收入11.89亿元，同比增长13.27%；其中半导体设备收入6.29亿元，同比增长224.77%，占主营业务收入比重提升至53.11%，首次超过光伏业务成为第一大收入来源。半导体新增订单占全部新增订单比例超过85%，增量主要来自存储领域客户。

2.2 存储领域：ALD+CVD双管齐下，市占率逼近独家供应

在国内头部存储客户的产线中，微导纳米的高温硬掩膜CVD设备市占率超90%，氮化钛ALD设备在新一轮采购中也拿下了90%以上的份额，接近独家供应的市场地位。核心客户为长江存储、合肥长鑫这两大国内存储巨头。

订单数据验证了这种位势：2025年前三季度，公司半导体新增订单14.83亿元，同比增长97.26%，其中超过80%的订单来自NAND、DRAM领域的头部存储芯片客户。全年半导体订单已上修至25-30亿量级。2026年半导体新增订单占全部新增订单比例超过85%，市场普遍预期公司2026年整体半导体订单将冲击30-40亿元。

存储芯片的技术迭代是ALD设备需求的核心驱动力。3D NAND芯片的堆叠层数不断增高，从128层往200层以上迭代，每提升一轮堆叠层数，薄膜沉积工序就要同步升级，设备采购价值量直接提升。在DRAM领域，High-k介质层的应用同样需要ALD设备实现原子级厚度控制。

2.3 技术纵深：从ALD到CVD的'梯次扩张'

公司在ALD领域持续深耕，2025年开发了空间ALD设备，实现多片同时工艺，有效解决了传统ALD的产能瓶颈问题；同时研发了多站型PEALD（等离子体增强原子层沉积）设备，显著提升工艺效率并降低制造成本。在CVD技术方面，公司适用于高温领域的CVD设备已于2025年通过客户批量验收，形成规模化量产能力，多种硬掩模及介质材料CVD设备已导入客户端验证。

公司产品矩阵已覆盖半导体前道制造的核心薄膜沉积环节：iTomicHiK系列半导体ALD设备、iTronixMTP系列半导体CVD设备和KF系列光伏ALD设备均已入选江苏省首台（套）重大装备产品目录，iTronix系列半导体CVD设备入选江苏省'两新'技术产品。

表1：微导纳米业务结构变迁（2024-2026H1）

数据来源：微导纳米年报、半年报、公司公告整理

三、竞争格局：ALD专精 vs 平台型龙头的差异化卡位

全球半导体薄膜沉积设备市场主要由美国应用材料（AMAT）、泛林半导体（Lam Research）、日本东京电子（TEL）和荷兰先晶半导体（ASMI）主导。在ALD设备细分市场，东京电子和ASMI分别占据31%和29%的市场份额，形成双寡头格局。

国内薄膜沉积设备赛道的突破节奏很清晰：先从难度更低的PECVD成熟路线切入，再往ALD高端路线爬坡。各厂商形成了差异化竞争格局：

1. 北方华创：平台型龙头，覆盖PVD、CVD、ALD、EPI、ECP及MOCVD等技术路线，2025年刻蚀设备和薄膜沉积设备两大业务收入均突破100亿元，2026年上半年实现营业收入201.61亿元。PVD设备全球市场份额约1.4%，CVD设备已实现全系列薄膜材料覆盖。
2. 拓荆科技：国内PECVD绝对龙头，也是国内唯一实现12英寸大尺寸PECVD设备规模化量产交付的企业，国内成熟制程PECVD市占率超过60%。2026年上半年实现营收29.13亿元，ALD设备在先进存储领域量产规模快速攀升。
3. 中微公司：以MOCVD和刻蚀设备为基，2025年薄膜设备销售收入同比增长约224.23%，但规模仍较小。减压外延设备已在成熟制程客户端验证成功，ALD等高端设备仍处于验证阶段。
4. 微导纳米：ALD专精路线，国内首家成功将量产型High-k ALD设备应用于集成电路制造前道生产线的国产设备厂商。在ALD细分领域与拓荆科技、北方华创形成差异化竞争——拓荆主攻PECVD，微导主攻ALD+高温CVD，北方华创则是全品类平台化布局。

表2：国内薄膜沉积设备厂商竞争格局对比

数据来源：各公司半年报、年报、公开研报整理

四、光伏业务：周期底部的价值锚与钙钛矿的'远期期权'

4.1 光伏周期下行：收入腰斩但市占率稳定

2026年上半年，光伏设备收入3.82亿元，同比下降52.48%。光伏行业正处于产能出清与价值重构的关键时期，阶段性供需错配矛盾仍未完全化解，产业链盈利压力对设备验收节奏形成一定影响。但公司光伏核心设备市占率保持稳定，当前正积极应对行业变化，围绕TOPCon+升级改造及TBC增量市场进行布局。

光伏业务的战略意义在于：它为半导体业务提供了现金流支撑和工艺验证平台。公司在光伏领域积累的ALD技术（如正面氧化铝钝化层）是向半导体ALD迁移的重要技术基础。

4.2 钙钛矿：ALD设备市占率领先，多次助力客户刷新效率纪录

在钙钛矿电池领域，公司是国内少数实现ALD、磁控溅射、蒸镀等核心真空工艺设备全覆盖的供应商之一。公司自主研发的ALD设备是制备高性能柔性钙钛矿电池的关键装备，在同类产品中市场占有率领先，已多次助力客户刷新钙钛矿组件效率纪录。

据行业数据，微导纳米在钙钛矿叠层电池ALD设备领域的市占率超过50%。但公司明确表示，钙钛矿相关产品当前处于市场推广初期，订单和收入占比还十分小。除半导体和光伏外，公司已在固态电池、柔性电子、车规级芯片等几个极具市场潜力的高端薄膜沉积技术应用领域进行深耕布局。

五、财务验证：高增长与高投入的张力，利润尚未跟上收入

5.1 收入结构优化但利润承压

2026年上半年，公司营业收入11.89亿元，同比增长13.27%；但归母净利润仅1.02亿元，同比下降46.74%；扣非净利润6015.57万元，同比下降55.89%。利润下滑的主要原因有三：

1. 光伏行业阶段性调整导致光伏设备业务收入同比回落，同时基于谨慎性原则对光伏业务计提较大金额减值。
2. 半导体设备业务快速增长，但尚处于规模放量初期，折旧摊销及产品结构等因素影响较大，叠加客户开发策略的阶段性影响，公司整体营业成本同比上涨较快。
3. 为持续推进半导体设备国产化并巩固新一代光伏电池技术领先优势，公司保持高强度研发投入。2026年上半年研发费用1.37亿元，占营收比重约11.5%。

5.2 现金流与存货：发出商品维持20亿高水位

截至2025年末，公司发出商品维持在20.58亿元的高水位，反映了半导体设备较长的验收周期。2026年上半年经营活动现金流净额1.92亿元，同比大幅改善（上年同期为-1.82亿元），主要得益于半导体设备回款改善。

5.3 机构预期：2026-2028年利润CAGR约38%

某券商预测，公司2026-2028年营收分别为29.09/35.62/45.06亿元，归母净利润分别为3.61/5.07/6.85亿元。这意味着2026-2028年营收CAGR约24%，利润CAGR约38%，利润增速显著高于收入增速，反映了对半导体业务毛利率提升和规模效应释放的乐观预期。

表3：微导纳米关键财务数据

数据来源：微导纳米年报/半年报、公开研报整理

六、风险与治理：实控人减持4.49亿与'规模放量初期'的盈利阵痛

2026年8月，微导纳米实控人方通过大宗交易减持套现约4.49亿元，引发市场关注。减持前，王磊控制的万海盈持股48.75%，聚海盈持股7.97%，王燕清控制的德厚盈持股1.09%，三方合计持有公司57.81%的股份；减持后降至56.81%。

从产业逻辑看，实控人减持并不改变公司的技术路线和客户结构，但提示了高估值下的股东回报压力。公司2022年IPO募资净额约10.23亿元，2025年8月又通过可转债募资11.7亿元，两次合计募资约22.7亿元。上市至今累计派现约1.25亿元，分红融资比约0.055。

更大的风险在于'规模放量初期'的盈利阵痛。半导体设备业务虽然收入增长迅猛，但折旧摊销、客户开发策略的阶段性影响导致毛利率尚未充分释放。2026Q1归母净利润仅2102万元，同比暴跌75.01%；Q2单季净利润8143万元，同比仍下降24.8%。光伏业务的减值计提和周期底部的不确定性，进一步压制了短期利润表现。

七、核心判断：ALD国产定义者的'三重跃迁'

微导纳米的产业价值，建立在三重跃迁的交汇之上：

1. 第一重跃迁：从光伏到半导体的业务重构。半导体设备收入占比从2024年的12%跃升至2026H1的53%，新增订单占比超85%。这不是简单的业务多元化，而是技术路线从'微米级镀膜'向'原子级构建'的质变——ALD技术的核心壁垒在于原子级厚度控制和高深宽比结构的三维共形性，这是光伏ALD无法比拟的技术纵深。
2. 第二重跃迁：从设备供应商到存储产线'核心配套商'。在长江存储、长鑫存储的产线中，微导纳米的高温硬掩膜CVD和氮化钛ALD设备市占率均超90%，接近独家供应。这意味着公司已经从'国产替代参与者'升级为'产线必需供应商'，客户粘性和议价能力显著增强。
3. 第三重跃迁：从单一ALD到'ALD+CVD+钙钛矿'的平台化扩张。公司在保持ALD专精优势的同时，向高温CVD、空间ALD、PEALD等方向延伸，并在钙钛矿、固态电池、柔性电子等新兴领域储备技术。这种'专精+平台'的混合模式，既避免了与北方华创的全品类正面竞争，又拓展了远期成长空间。

但乐观预期之下，需要警惕三个现实约束：一是利润尚未跟上收入，2026H1净利润同比-47%，半导体规模放量初期的成本压力何时缓解存在不确定性；二是光伏业务周期底部的减值风险和对现金流的拖累；三是与拓荆科技、北方华创在ALD领域的竞争可能加剧——拓荆科技的ALD设备在先进存储领域量产规模正在快速攀升，北方华创也在持续完善原子层刻蚀/沉积设备。

一句话总结：微导纳米是ALD国产替代浪潮中最具'锐度'的标的——它在存储领域拿下了90%以上的ALD/CVD市占率，但'锐度'能否转化为'厚度'（持续盈利能力），取决于半导体业务毛利率的释放节奏和光伏业务周期的拐点位置。

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本文为产业研究笔记，据公开信息整理，不构成投资建议。判断留给读者。

数据截至2026年9月17日

依据来源：微导纳米2025年年度报告、2026年半年度报告、2026年第一季度报告、投资者关系活动记录表、公司公告；上海证券报、科创板日报、格隆汇公开报道；SEMI、Gartner行业数据；西南证券、光大证券研报。